Système de détection d'image va - 3200 Wafer

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[caractéristiques]
• Compatibilité de la sonde: le système de détection d'image va - 3200 est conçu pour être installé sur une machine à sonde, ce qui permet aux ingénieurs et aux opérateurs de l'utiliser dans un environnement familier.
• Processus d'exploitation simplifié: l'intégration du système et de l'éprouvette permet aux utilisateurs de définir les paramètres d'image à l'aide de l'interface d'exploitation existante, réduisant ainsi la courbe d'apprentissage du nouveau système.
• Évitez les risques de bris de plaquette: le risque de bris de plaquette est efficacement évité car il n'est pas nécessaire de toucher directement la plaquette pour la cueillette et le placement.
• Facilité d'utilisation accrue: les ingénieurs et les opérateurs familiers avec les machines d'essai d'aiguilles peuvent commencer plus facilement, en maintenant l'efficacité et la sécurité du processus d'inspection.

[avantage du produit]
1. Capture d'image de haute qualité
◦ caméra à balayage linéaire: avec la caméra à balayage linéaire, elle offre un grand champ de vision (FOV) et une capacité de balayage rapide pour capturer complètement une image de la tranche entière en peu de temps.
◦ objectif 3x: en combinaison avec un objectif à fort grossissement, vous pouvez produire des images de haute qualité qui améliorent considérablement la reconnaissance des caractéristiques des défauts.
2. Détection de défauts de haute précision
◦ précision de détection jusqu'à 5 μm: avec une capacité de détection de haute précision, il est possible d'identifier avec précision les défauts mineurs de la surface de la plaquette, y compris les corps étrangers (particules), les rayures (rayures), les anomalies des plots et les anomalies des bosses.


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